„Erfassung von Produktions- und Prozessdaten in Echtzeit, basierend auf Industrie 4.0, für höhere Produktivität und deutliche Kostensenkung“

Unsere Kernkompetenz in der Halbleiter-Poly-Si-Verarbeitung ist das mechanische Trennen, Notch.- und Rundschleifen,  Kegel.- und Profilschleifen sowie Polieren von Silizium Ingots. 

 
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RG608 / RG 612 

Rundschleifmaschine

Diese Maschine eignet sich zum Schleifen von SiC-Ingots von 4 -12" mit einer max. Länge von 600 mm und einer geraden Kerbe (Notch) und Flachschliff. Das Zentrieren der Ingots erfolgt automatisch

■ Ingot Abmessung / Ingot dimension:

- Durchmesser: 4 – 12“

- Länge: 30 mm - 600 mm

■ XRD Orientierungsmessung von Freiberg Instruments

- Inline-Prüfwerkzeug 4 - 12" 

- Orientierungen (111), (100), (110)

- Vermessen der Flat‐/ Notchlage

- Vermessen der Notch- und, Flattiefe bzw. Breite 

- Durchmessermessung am Roh- und am geschliffenen Stab

■ Notchschleifscheiben

-1-2 Schleifscheiben für unterschiedliche Notchvarianten / Vor- und Feinschleifen

■ Be.-und Entladeportal 

- Automatisches Be-und Entladen

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NC559/200

Schleifmaschine 

Bearbeitung/Vorbereitung von Siliziumstäben aus dem Zonenschmelzverfahren (Float Zone Process)

Automatisches Schleifen von Konus und Nut zur Vorbereitung/Bearbeitung von Polykristallstäben aus dem Zonenschmelzverfahren (Float Zone).

 

Die Werkstücklänge ist von 500 bis 3.000mm und mit einem maximalen Durchmesser von 200 möglich. Die Schleiflänge liegt zwischen 500 und 1.000 mm.

■ vollautomatisches Maschinenkonzept
■ hohe Prozessstabilität
■ sehr einfache Bedienung
■ geringe Zykluszeit - sehr hoher Durchsatz
■ geringe Fertigungstoleranzen, hohe Oberflächenqualität
■ hohe Wiederholgenauigkeit
■ weniger Maschinen erforderlich, kleine Anlagenfläche notwendig
■ hohe Maschinenverfügbarkeit  97% nach SEMI E10

 

72/1500

Filament Trennmaschine

72/1540

U-Rod Trennmaschine

 

BS4000/320 A 

 

Bandsäge

 

Zum Schneiden von monokristallinen Ingots bis zu einem Durchmesser von 320 mm

Werkstück:

■ Länge: 700 - 4000 mm

■ Länge des zylindrischen Teils: 3500 mm

■ Länge des Kegels: 2x 300 mm

■ Durchmesser:  300-320 mm

■ Block Länge:   70-400 mm

■ Testwafer Dicke: 1 - 3 mm

■ Gewicht: 5 - 600 kg + 50 kg for holder

Sägeblatt:

■ Länge:  8550 mm +/-30 mm

■ Breite:  40 - 41 mm

■ Dicke:  0,5 +/- 0,02 mm

■ Vorschub:   5-40 kN

■ Geschwindigkeit:   0 - 60 m/s

 

564/01

 

Glasbohr- und Reibmaschine

Spezialausführung für den Einsatz von Diamant-Kronenhohlbohrern und konischen Diamant-Reibewerkzeugen für alle spröden Werkstoffe wie Glas, Quarzglas, Keramik, Oxyde usw..

 

Aufbau: 
■ mit Bohrkernauswerfer komplett montiert
■ schwere Säulenbohrmaschine in solider und präziser Ausführung

   mit massivem Guss-Standfuß
■ Rundum schwenkbarer Bohrtisch, über Zahnstange und 
    Schneckengetriebe höhenverstellbar
■ Bohrspindel mit Präzisionskugellager
■ Bohrspindel mit polumschaltbarem Drehstrommotor
■ Leicht einstellbarer Bohrtiefenanschlag
■ Bohrspindel aus rostfreiem Edelstahl, axial durchbohrt mit 
    aufgesetztem Kühlmittel-Spülgelenk
■ Spritzwasser-Auffangkasten mit Plexiglasscheibe
■ Kühlmittelbehälter mit eingebauter Tauchpumpe
■ Fußschalter zur Betätigung der Pumpe
 

 

Jörg Gloger
Leiter Vertrieb


joerg.gloger@

arnold-gruppe.de

06471-9394-0

Marc Sarakun
Technischer Vertrieb

marc.sarakun@

arnold-gruppe.de

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